Penapis C Seal Pemasangan Permukaan IGS Berprestasi Tinggi untuk Sistem Penghantaran Gas Semikonduktor

Penerangan Ringkas:

Jenama:HENGKO

Nama Penapis:Penapis C-Seal Pemasangan Permukaan IGS

Bahan:SS 316L

Kadar aliran:10 ~ 120 SLPM

Suhu operasi maksimum:460°C

Saiz penyingkiran zarah:> 0.003 µm

Hantar emel kepada kami Kembali Ke Sub-Kategori

Butiran Produk

Tag Produk

Penerangan

Penapis Pemasangan Permukaan HENGKO direka bentuk untuk memenuhi keperluan sistem gas bersepadu yang digunakan dalam alat OEM semikonduktor. Menawarkan penapisan terkemuka dalam industri pada 0.003 µm, penapis ini memastikan prestasi dan kebolehpercayaan yang luar biasa dengan kecekapan pintasan zarah ≥99.9999999% (9-LRV) pada 120 slpm.

Dibina daripada serbuk keluli tahan karat 316L yang teguh yang disinter untuk elemen dan perumah penapis, penapis ini mematuhi spesifikasi SEMI F86-0304, yang menampilkan komponen dua port yang disesuaikan untuk sistem pengedaran gas 1.125” dengan konfigurasi pengedap-C. Ia menyokong tekanan masuk maksimum 3.4 MPa pada 100°C dan perbezaan tekanan operasi maksimum 0.69 MPa pada 100°C.

Penapis khusus ini, yang serasi dengan spesifikasi pengedap jenis-C dan jenis-W, mencapai kebersihan hiliran dengan pembebasan zarah

Dengan kemasan permukaan Ra< 1.6 µm di bahagian luar dan Ra< 0.13 µm di bahagian dalam, ia direka bentuk untuk menahan suhu tinggi sehingga 460°C. Direka bentuk untuk penyepaduan mudah dan naik taraf reka bentuk modular, penapis ini memudahkan pemasangan dan penyelenggaraan, membantu mengoptimumkan prestasi sistem dalam aplikasi penghantaran dan kawalan gas semikonduktor.

Ciri Produk

▶ Keseluruhan pembinaan keluli tahan karat 316L
▶ Reka bentuk mini, struktur padat, menjimatkan ruang
▶ Ciri-ciri penggantian dan penyahjerapan gas yang sangat baik
▶ Tahan suhu tinggi, tekanan tinggi dan kakisan
▶ Perumah keluli tahan karat 316L yang digilap elektro
▶ Pemasangan dan penyelenggaraan yang mudah dan cekap
▶ Pengedap mekanikal, tidak dikimpal secara struktural pada medium

Penapis C Seal Pemasangan Permukaan IGS Berprestasi Tinggi untuk Sistem Penghantaran Gas Semikonduktor

Helaian Data

Parameter Teknikal	Nilai-nilai
Bahan Elemen Penapis	Serbuk Sinter Keluli Tahan Karat 316L
Bahan Perumahan	Keluli Tahan Karat 316L
Tekanan Masuk Maksimum	3.4 MPa @ 100°C
Pembezaan Operasi Maksimum	0.69 MPa @ 100°C
Kadar Kebocoran Pengesahan Helium	1x10⁻¹¹ cc/min
Kadar Kebocoran Ujian Helium	1x10⁻⁹ cc/min
Rawatan Permukaan	Permukaan Luar Ra< 1.6 µm
	Permukaan Dalam Ra< 0.13 µm
Suhu Operasi Maksimum	460°C
Kecekapan Pemintasan Zarah	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Rujukan, semua zarah)
Kebersihan Hiliran	Pelepasan Zarah:< 0.03 zarah/liter (< 1 zarah/ft³)
	Meruap:Kelembapan < 10 ppb
Saiz Pemintasan Zarah	≥0.003 μm
Julat Aliran	0 ~ 120 slpm