Penderia Suhu dan Kelembapan untuk Skim Kawalan Suhu Kelembapan Bilik Semikonduktor Bersih
Paparan Produk
suhudankelembapan ruang bersih ditentukan terutamanya mengikut keperluan proses, tetapi di bawah syarat memenuhi keperluan proses, rasa selesa harus diambil kira.Dengan peningkatan keperluan kebersihan udara, terdapat trend keperluan yang lebih ketat untuk suhu dan kelembapan.
Oleh kerana ketepatan pemprosesan semakin halus, maka julat turun naik suhu semakin berkurangan.Sebagai contoh, dalam proses pendedahan litografi pengeluaran litar bersepadu berskala besar, perbezaan pekali pengembangan haba antara kaca dan wafer silikon sebagai bahan topeng diperlukan untuk menjadi lebih kecil dan lebih kecil.Diameter 100 um wafer silikon, kenaikan suhu 1 darjah, akan menyebabkan pengembangan linear 0.24um, jadi mesti ada suhu ± 0.1 darjah, pada masa yang sama nilai kelembapan umumnya rendah, kerana orang berpeluh, produk akan mempunyai pencemaran, terutamanya takut bengkel semikonduktor natrium, bengkel ini tidak boleh melebihi 25 darjah.
Kelembapan yang tinggi menyebabkan lebih banyak masalah.Apabila kelembapan relatif melebihi 55%, embun akan terbentuk pada dinding paip air penyejuk, yang akan menyebabkan pelbagai kemalangan jika ia berlaku dalam peranti atau litar ketepatan.Apabila kelembapan relatif adalah 50%, ia mudah berkarat.Di samping itu, apabila kelembapan terlalu tinggi, habuk yang melekat pada permukaan cip silikon akan diserap secara kimia pada permukaan untuk menahan penyingkiran.Semakin tinggi kelembapan relatif, lekatan sukar ditanggalkan, tetapi apabila kelembapan relatif lebih rendah daripada 30%, zarah-zarah mudah terserap di permukaan disebabkan oleh tindakan daya elektrostatik, dan sebilangan besar peranti semikonduktor terdedah kepada kerosakan.Julat suhu optimum untuk pengeluaran wafer ialah 35-45%.
Oleh itu, kawalan suhu dan kelembapan adalah amat penting, HENGKO boleh memberikan anda satu siripenyelesaian pemprosesan tersuai pemancar suhu dan kelembapan!
Penderia Suhu dan Kelembapan untuk Skim Kawalan Suhu Kelembapan Bilik Semikonduktor Bersih
Tidak dapat mencari produk yang memenuhi keperluan anda?Hubungi kakitangan jualan kami untukPerkhidmatan penyesuaian OEM/ODM! 
